電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞ径とは?

電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞの直径｡電子源の直径､光学系の縮小率､対物ﾚﾝｽﾞの収差などによって決まる｡実際の電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞ径を測定するには､ﾅｲﾌｴｯｼﾞ状の試料の上を､電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞが横切ったときの､二次電子､透過電子などの信号強度から測定する｡
しかし､電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞが細くなるとこの方法による測定は困難であり､TEMのような拡大･結像系を持つ装置が必要となる｡
なお､SEMの解像力は電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞ径より良い値になる｡

関連する用語
 ･TEM ･電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞ ･電子源 ･対物ﾚﾝｽﾞ ･収差 ･二次電子 ･透過電子