電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞとは?

電子銃から放出され､集束ﾚﾝｽﾞと対物ﾚﾝｽﾞによって縮小されて､試料に照射される細い電子線｡電子の探針を意味する｡

関連する用語
 ･電子銃 ･集束ﾚﾝｽﾞ ･対物ﾚﾝｽﾞ