焦点合わせとは?

電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞを試料表面に集束すること｡通常対物ﾚﾝｽﾞの励磁を変えることで行うが､ﾗﾌな焦点合わせであれば､試料ｽﾃｰｼﾞを使って､試料を上下することで行うことも可能である｡

関連する用語
 ･電子ﾌﾟﾛｰﾌﾞ ･対物ﾚﾝｽﾞ ･試料ｽﾃｰｼﾞ