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ﾚｼﾞｽﾄとは?

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⇒	この項目では､半導体製造ﾌﾟﾛｾｽについて記述しています｡ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｿﾌﾄｳｪｱについては｢ﾚｼﾞｽﾄﾚｰｼｮﾝ｣をご覧ください｡

ﾚｼﾞｽﾄとは､主に工業用途で使用される､物理的､化学的処理に対する保護膜､及びその形成に使用される物質である｡
諸般の製造ﾌﾟﾛｾｽ内で､ｻﾝﾄﾞﾌﾞﾗｽﾄ､ｲｵﾝ注入､ｴｯﾁﾝｸﾞなどの処理を施す際､被処理物表面の一部を樹脂などで保護し､処理をしたあとに保護膜を剥離することで､被処理物の所望の部分のみを処理することができる｡
この手法に使われる保護膜をﾚｼﾞｽﾄという｡
処理に耐える(resist)事からこの名がついた｡
用途や塗り分け（ﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞ）方法で幾種類かに分類される｡

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