ｼｭﾉｰｹﾙ形対物ﾚﾝｽﾞとは?

超高分解能SEM用の対物ﾚﾝｽﾞの一種｡ﾖｰｸの開口部を､光軸に沿った部分ではなく試料側に作ると､対物ﾚﾝｽﾞ下部の空間にﾚﾝｽﾞ磁界を作ることができる｡
その中に試料を置くようにすると､対物ﾚﾝｽﾞの収差を小さくすることができるが､ｲﾝﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞと違って､大きな試料を扱うことができる｡作動距離を短くすれば高解像力が得られ､作動距離を長くすれば､試料の大角度傾斜が可能である｡ｾﾐｲﾝﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞとも呼ばれるが､二次電子の検出にはTTL検出器が用いられる｡
なお語源は､最初に作られたﾚﾝｽﾞが､平面状の外側ﾖｰｸに対して､内側ﾖｰｸがﾀﾞｲﾋﾞﾝｸﾞで使われるｼｭﾉｰｹﾙのように突き出していたことによる｡内側ﾖｰｸの上部空間に試料を置くというのが､元々のｱｲﾃﾞｨｱであり､現在のものは上下が逆転している｡

関連する用語
 ･対物ﾚﾝｽﾞ ･ｾﾐｲﾝﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞ ･ｱｳﾄﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞ ･ｲﾝﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞ ･ﾖｰｸ ･光軸 ･収差 ･作動距離