ｺｰﾀｰとは

ｺｰﾀｰとは?

ｽﾎﾟﾝｻｰﾘﾝｸ
精密塗布はｽﾑｰｽﾞﾌﾛｰﾎﾟﾝﾌﾟ
精密薄膜塗布用送液ﾎﾟﾝﾌﾟ｡塗工液を変質させず安定した一定流で送液
ﾚｼﾞｽﾄなら技術力の加美機工
作業時間を大幅に短縮｡

ｺｰﾀｰ（ｺｰﾀ）は､次のようなものに何かを塗布するための機器を指す｡
･材料に薬品を塗布するための機器｡
･半導体製造装置の1つで､ｶﾞﾗｽ基板やｼﾘｺﾝなどのｳｪﾊｰにﾚｼﾞｽﾄをﾅﾉ単位で極めて均一に塗布するための装置｡
主に材料をﾊﾞｷｭｰﾑﾁｬｯｸして回転させ､遠心力によってﾚｼﾞｽﾄを均一に伸ばすｽﾋﾟﾝ式が用いられるが､液晶のｶﾞﾗｽ基板用は近年のﾊﾟﾈﾙｻｲｽﾞの大型化によってｽﾋﾟﾝが困難になりつつあるためｽﾋﾟﾝﾚｽ式も登場している｡