ｲﾝﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞとは?

超高分解能SEMで使われる対物ﾚﾝｽﾞの一種｡TEMの対物ﾚﾝｽﾞと同じような構造をしており､試料はﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽの中に置かれていることから､このように呼ばれる｡ﾚﾝｽﾞ中に試料が置かれることで収差が小さくできるが､試料周辺の空間は小さく､取り扱える試料の大きさは数mm径である｡試料は強磁界の中に置かれるので､ﾊﾞﾙｸ状の磁性材料の観察は難しい｡二次電子の検出にはTTL検出器が用いられる｡試料ｽﾃｰｼﾞもTEMとほぼ同様の構造を持っており､ｻｲﾄﾞｴﾝﾄﾘｰﾀｲﾌﾟのｺﾞﾆｵﾒｰﾀと試料ﾎﾙﾀﾞの組み合わせとなっている｡試料ｽﾃｰｼﾞが軽量であることから床振動の影響も比較的小さい｡

関連する用語
 ･対物ﾚﾝｽﾞ ･ｱｳﾄﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞ ･ｼｭﾉｰｹﾙ形対物ﾚﾝｽﾞ ･ﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽ ･収差 ･TTL検出器 ･試料ｽﾃｰｼﾞ ･ｺﾞﾆｵﾒｰﾀ ･試料ﾎﾙﾀﾞ