ｱｳﾄﾚﾝｽﾞ形対物ﾚﾝｽﾞとは?

汎用SEM､あるいはEPMA､SAMなどの分析装置で使われる対物ﾚﾝｽﾞ｡内側のﾖｰｸ部分にﾚﾝｽﾞｷﾞｬｯﾌﾟが設けられており､試料はﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽの外側に置かれていることからこう呼ばれる｡ﾚﾝｽﾞと試料の間の距離が短くできないことから収差は小さくできないが､試料周辺の空間は大きく､試料傾斜などの自由度は大きい｡

関連する用語
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